ASML betaalt 1 miljard euro voor een belang van 24,9 procent in Carl Zeiss SMT. De komende zes jaar draagt ASML nog eens 760 miljoen euro bij aan de R&D van de onderneming uit de Carl Zeiss groep. Het geld is voor een systeem voor extreem ultraviolet (EUV) licht, met een hogere numerieke apertuur. Met dat volledig nieuwe systeem wil ASML de verkleining van de transistor op chips nog enkele generaties doorzetten, tot sub-3 nanometer. Beide ondernemingen zijn akkoord en ze zijn niet voornemens om in de toekomst meer transacties te doen.
Enkele jaren geleden heeft ASML zelf een vergelijkbare stap gezet door aandelen uit te geven aan Intel, TSMC en Samsung. De laatste heeft dat belang eerder dit jaar weer van de hand gedaan.
