ASML meldt dat de fabrieken in Berlijn grotendeels onbeschadigd zijn gebleven tijdens de brand op 3 januari. Het bedrijf is nog bezig met het noodplan voor één component voor EUV-machines. De volgende update is bij de presentatie van de kwartaalcijfers op 19 januari.
De brand heeft schade veroorzaakt in een deel van een hal en rookschade in een ander gebouw. ASML is nog bezig om de schade te evalueren, maar meldt dat de activiteiten in metrologie en inspectie überhaupt geen onderdelen uit Berlijn gebruiken. De DUV-productie wordt naar verwachting niet geraakt.
De brand heeft de productie uitgeschakeld van de ‘wafer clamp’, een onderdeel van de EUV-machines. ASML is nog bezig met het voltooien van het herstelplan voor dit productiegebied en het bepalen hoe de potentiële impact voor EUV-klanten kan worden geminimaliseerd, zowel in het outputplan als in de buitendienst.
ASML Berlin is in 2020 gevormd na de aankoop van Berliner Glas. Dit is een van de toeleveranciers van componenten in de lithografiemachines.
